[박광준 기자] 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 세메스 전 연구원 등이 구속돼 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업.산업기술범죄수사부(박진성 부장검사)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A 씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B 씨, 세메스 협력사 대표 C 씨 등 4명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다.

또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다.

A 씨는 2016년 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정장비' 핵심 도면을 C 씨로부터 취득해 이를 브로커 B 씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비이다.

이 기술은 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술이다.

A 씨는 함께 구속 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 '매엽식 인산 세정장비 기술 정보'를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다.

인산 세정장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비이다.

이밖에 A 씨는 2019년 7월∼22년 10월 회삿돈 27억 원을 횡령한 것으로도 조사됐다.

이 과정에서 브로커 B 씨는 A 씨가 2020년 10월 11억 원을 횡령하는 데 가담한 혐의를 받는다.

A 씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 구속 기소된 바 있다.

그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 A 씨 업체 공장에 있던 반도체 세정장비 본체 6세트와 예금 채권, 부동산 등을 가압류해 약 535억 원 상당을 보전조치 했다.

박진성 부장검사는 "건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위를 엄단하겠다"면서, "범죄수익은 끝까지 추적할 것"이라고 말했다.